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カーボン
ナノチューブ CARBON-NANOTUBE

カーボンナノチューブ透明導電膜の
微細パターニング技術

※特許取得しています。

これまで量産性に適さないレーザー加工方式などに頼っていたカーボンナノチューブ(以下CNT)の透明導電膜のパターニングにおいて、量産性に適したフォトリソのウェット方式にて、ITOと近い工程でパターニング出来る加工技術を開発しました。
パターニング工程で特殊な薬液を必要とせず、20μm以下の微細な配線も形成可能です。

<パターニング工程イメージ図>

Agメッシュセンサー断面図

<CNT透明導電膜 微細パターン加工部 拡大写真 >

Agメッシュセンサー断面図

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光村印刷株式会社 技術本部

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