カーボン
ナノチューブ
CARBON-NANOTUBE
カーボンナノチューブ透明導電膜の
微細パターニング技術
※特許取得しています。
これまで量産性に適さないレーザー加工方式などに頼っていたカーボンナノチューブ(以下CNT)の透明導電膜のパターニングにおいて、量産性に適したフォトリソのウェット方式にて、ITOと近い工程でパターニング出来る加工技術を開発しました。
パターニング工程で特殊な薬液を必要とせず、20μm以下の微細な配線も形成可能です。